신성이엔지, 세미콘코리아서 클린룸 장비·기술 선봬

[이투뉴스] 신성이엔지는 오는 31일부터 내달 2일까지 서울 코엑스에서 열리는 ‘세미콘 코리아 2024’에 참가해 보유하고 있는 클린룸 기술과 장비를 선보인다. 

신성이엔지는 1977년 설립 이후 국내 최초로 클린룸 핵심 장비인 FFU(Fan Filter Unit)를 국산화 하는 등 사업을 이어가고 있다. 클린룸은 반도체·디스플레이 생산에 필수적인 고청정 공간을 의미한다. 

특히 FFU는 최첨단 공기제어 기술을 통해 초미세먼지까지 제어가 가능한 제품 품질과 수율을 높이는 산업용 공기청정기다. 신성이엔지는 FFU부문에서 세계 점유율 60% 이상을 차지하고 있다. 

세미콘 코리아 2024에서 신성이엔지는 FFU 이외에도 ▶외부에서 유입되는 오염된 공기를 깨끗하게 처리해 실내로 공급하는 외조기(OAC) ▶공기 중 이온성 오염물질을 제거하는 WSS ▶정상 방향으로 기류 환경을 유지해주는 기류 연동시스템 ▶휘발성 유기화합물을 제거하는 V-master ▶초미세먼지까지 감지하는 미립자 가시화시스템 등 보유하고 있는 클린룸 관련 장비를 소개할 예정이다. 

신성이엔지 관계자는 “47년간 축적된 공기제어 기술을 바탕으로 개발된 장비들을 소개하고자 한다”면서 “앞으로도 첨단산업환경 청정토털솔루션을 제시하며 관련 산업 성장을 이끌 것”이라고 말했다. 

한편 세미콘 코리아는 국제반도체장비재료협회가 주최하는 국내 최대 규모 반도체 전시회로, 올해는 500여개 국내외 반도체 재료·장비 업체가 참여한다.

유정근 기자 geun@e2news.com